집적회로란 2개이상의 전자회로 소자가 하나의 기판위 또는 기판내에 분리가 불가능한 상태로 결합·접속되어 있는 극히 미소한 구조의 복합전자회로를 말한다. 반도체 집적회로는 모노리딕(monolithic)집적회로라고도 하며 1변이 1mm정도인 반도체(실리콘)의 얇고 작은 조각인 칩 또는 다이(dig)위에 전자회로를 형성시켜 만드는데 칩은 금속이나 플라스틱으로 된 패키지 안에 장착되고 접점은 외부의 단자에 연결된다.
이들 칩에 들어 있는 개개의 회로소자 수에 따라 1백개 미만의 SSI(소규모집적회로), 1백∼1천개의 MSI(중규모집적회로), 1천∼10만개의 LSI(대규모집적회로), 10만∼1백만개의 VLSI(초대규모집적회로)로 나눠지며 최근에는 1백만개 이상의 소자가 집적된 ULSI(극초 대규모 집적회로)도 실용화되고 있다.